壓力變送器的發(fā)展大體經歷了四個階段:
(1)早期壓力變送器采用大位移式工作原理,如水銀浮子式差壓計及膜盒式差壓變送器,這些變送器精度低且笨重。
(2)20世紀50年代有了精度稍高的力平衡式差壓變送器,但反饋力小,結構復雜,可靠性、穩(wěn)定性和抗振性均較差。
(3)20世紀70年代中期,隨著新工藝、新材料、新技術的出現,尤其是電子技術的迅猛發(fā)展,出現體積小巧,結構簡單的位移式變送器。
(4)20世紀90年代科學技術迅猛發(fā)展,變送器測量精度提高而且逐漸向智能化發(fā)展,數字信號傳輸更有利于數據采集,出現了擴散硅壓阻式變送器、電容式變送器、差動電感式變送器和陶瓷電容式變送器等不同類型。